日本电测膜厚仪EX-3000

EX-3000 动测量台型规格表									
壹.??	荧光X线控制部:
	1	 X线源:油浸式小型微小焦点X线管. 50KV管电压，可变管电压。
	2	照射方式：由上而下垂直照射方式。
	3	检出器：比例计数管。
	4	滤波器：采用 Co 和 Ni 双滤波器及数位式滤波器，可单一或同时使用。
	5	 准直仪：Collimator 采用五种孔径一体成型式，可自动切换使用。
			0.1,  0.2,  0.5,  1.0,  2.0 ψ㎜.
			(选购) 0.05 ×0.5,  0.05,  0.1,  0.2,  0.5 ψ㎜.
			(选购) 0.05,  0.1,  0.2,  0.3,  0.5 ψ㎜.
	6	样品观测系统：彩色CCD及高画质显示屏。
	7	"多能谱分析器：使用256高频分析器，光谱自动分析，在执行测量及运算时，
非常快

速。"							
贰.??	计算机操作部:
	1	计算机系统：(仅供参考) 
	w?????? 主板：华硕P4PE.    显卡：GF4 Mx 64M.  
	w?????? CPU：C4 2.4.       软驱：sony1.44.
	w?????? 内存：HY 256M.    机箱：豪华机箱+P4电源. 
	w?????? 硬盘：金钻40G.    键盘鼠标：光电套装.
	w?????? 光驱：LG 52X.      PowerPCI控制卡
	w?????? HPC 17" 液晶彩显.
	2	打印机：日本EPSON彩色喷墨式打印机
	3	本机型(EX-3000系列)之操作系统采中文视窗(Windows xp)对话式操作，非常简便。
	
参.??????	特性说明:
	1	测量项目：
	w?????? 单层膜厚测定.    
	w?????? 2层膜厚测定.  
	w?????? 3层膜厚测定.    
	w?????? 合金膜厚成份比同时测定.  
	w?????? 化学镍膜厚测定.  
	w?????? 压铸锌底材上镀铜、镍二层膜厚同时测定.
	w?????? 元素的光谱峰值测定分析.
	2	??????????? 测量材质：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)为激发法测量。    原子序22以下为

吸收法测量。
	3	测量范围：原子序22 ~ 24 ， 约 0.2 ~ 20 um.  原子序25 ~ 40 ， 约 0.1 ~ 30 um. 

 原子序41 ~ 51 ， 约 0.2 ~ 70 um.   原子序52 ~ 82 ， 约 0.05~ 10 um.				

			
	4	测量机能： 
	w?????? 自动测定.
	w?????? 同一点重复测定机能 
	w?????? 输出形式设定.
	w?????? 自动测定条件测定.
	w?????? 能谱测定.
	w?????? 2点间等距离测定.
	5	 测量条件或膜厚规格可以保存.
		当要测量相同图样轨迹的制品时，若测量条件已储存时，可以马上进行测量。
		较大检量线档案数：可登录储存100组档案。
		较大测量档案数  ：可登录储存500组档案(总计含手动300组,   自动100组,任意点自

动测量100组等)。							
	6	档案记录：
	w?????? 每一个批号可储存无限个测量资料.(因各型计算机之容量
	大小而定)
	w?????? 每一个测量档案可输入及储存公司名称.
	w?????? 每个批号可单独执行统计处理.
	w?????? 每个测量档案可输入不同的检量线(校正曲线).
	w?????? 每个测量档案可输入自动测量的坐标记录及统计处理方式.
	7	资料处理：
	w???????????? 统计值表示：平均值、标准偏差、较大值、较小值
	、上下限值范围、Cp、Cpk。
	w???????????? X-R 管制图.
	w???????????? 柱状图：有自动设定及自己任意设定二种方式。
	w???????????? 测量资料轮廓剖面分布图。
	w???????????? 测量资料三次元轮廓剖面分布图。
	w???????????? 可彩色打印观物显示屏上所观测之图像。
	8	 底材补正：当样品与标准片的底材不同时，可作底材补正。
	9	 观物显示屏：十字刻度线的高分辨率彩色观物显示屏。

设备尺寸：
1	测定部：  外观尺寸：602(W) ×463(D) ×732(H) ㎜.
	重量：标准型  约 55 Kg.     自动型  约 61 Kg.    
2	操作部：(※仅供参考)  
	计算机尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜.  
	显示屏尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜.
	打印机尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜.
	重量：约 4.3 Kg.
3	测量样品限制.
4. 测量样品限制.					
样品限制高度：  150㎜					
样品限制重量：  3 kg.